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第248章 晶圆厂流片

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9月10日,华芯晶圆厂大E首次正式流片,董事会高层出席,由于大E仍处在保密阶段,现场并不像之前大D流片时那般热闹,路阳、周怀义、于永锋、蔡伟青、温天洋出席仪式。

路阳遇袭的消息逐渐传开,当工程师们见到路阳时,眼神中充满敬佩。

温天洋作为晶圆厂的第一任厂长,亲自主持仪式。

“同志们,这是注定被历史铭记的一刻,而你们,是历史的创造者,这5条大E生产线,将正式宣告华国在半导体芯片领域已经追上来了,不过,由于特殊的原因,今年,我们并不会对外宣布。”

“下面有请张老,路总共同揭幕。”

路阳走到张老面前,与老人一起揭掉挂在牌子上的红绸,笑道,“张老,辛苦您了,由您来启动吧!”

张老脸上挂着幸福的笑容,他等这一天太久了,“小路,我也算完成使命了,接下来就交给你们了。”

按下开关,生产线正式启动。

华芯大E生产线第一期共计10条,首次流片制程为5纳米,使用的是麒临9000H,与苏硅不同,这边的人更少,每条线的工作人员不到100人,而超净间里的工作人员也只有20人左右,其他的都是自动化设备。

看着面前洁白的设备,“真美啊,特别是设备上显眼的华芯LOGO以及HX-EUV2035型号的字样,而自己是其中的参与者,这是多么值得骄傲的事情。”

这次流片,大家都轻松许多,毕竟已经在申城微电子做过一次了,出问题的可能性不大,现在主要看的是良品率。

申城微电子董事长贺兆国心中情绪万千,在他看来,大E是在廖老主持下研发的,廖老也是申城微电子的人,而最终申城微电子那边只建了两条大E的生产线,今年只能内供,还不能对外宣传。

说一点怨言都没有,那是不可能的,觉得上面太偏爱华芯了,直到了解路阳遇袭的经过,他才切实感受到,这已经不是什么商业竞争,而是国家战略问题了。

“路总,恭喜华芯,有这5条生产线,我们的大盘算是稳住了,中芯那边最近追加了5台大E,听说首批交货是2台,10月份运到,比我们还要晚2个月。”

路阳明白对方的意思,笑道,“贺总,应该是同喜才对,不用急,比起国家的战略,这点得失算不上什么,我们还需要时间,今年如果大E公布确实能对企业有帮助,但却让上面失去了操作的空间。”

于永锋与蔡伟青对视了一眼,他们当然明白申城微电子的想法,就凭大E的消息,申城微电子股价必定大幅提升。

“贺总,听说申城微电子的镜片厂已经开始投产了?产能如何?”

贺兆国苦笑着摇摇头,“哎,镜片这东西太难了,拉满产能,每个月最多能供应3台,镜片的良品率还不到70%,这方面路还长,我们跟蔡司差距仍然很大。”

镜片产能决定大E产能,目前华国能提供大E镜片的也就长春光学、华芯与申城微电子三家,现在所有的镜片都集中在华芯微电子,加班加点的生产,直到9月初,才生产出10台,华芯这边拿了5台,其他的都被送到了相关科研机构。

华微余跃有事没事就打电话给路阳,想先弄一台过去,毕竟建好产线到最终正式量产仍需时间。

路阳表示他也没办法,今年的大E供应,决定权不在华芯手上。

结果不出预料,甚至比预估的还要理想许多,HX-EUV2035的5纳米制程良品率在78%。

众人纷纷向张老祝贺,不愧是建厂达人,这么短时间,把产线建好,还能做到这么高的良品率,全世界估计都找不到一人能超过他。

温天洋欣喜万分,“这个良品率比之前翻了近1倍,再完善优化下,正式量产我们在5纳米制程上做到85%应该是没问题了。”

张老对这个良品率也非常满意,但毕竟只是流片,任是谦虚的说道,

“还有3纳米的制程,虽然是实验芯片,但却代表着我们的上限。”

众人都不敢立flag,估高了压力太大,估低了又容易得罪人。

路阳大笑道,“哈哈,大家别有压力,我们第一次流片时,0.8%都觉得满足了。”

“张老,您觉得85%的良品率比起台鸡电如何?”

“差距并不大,他们现在5纳米在91%左右,但有一点他们是肯定比不过我们的,那就是价格。”

众人顿时笑了起来,是啊,华芯的设备自己生产、硅片自己生产、原料大部分都是自己的,这价格,耶舒来了都竞争不过。

91%,难度也没那么大嘛,就凭老温的水平,最多半年应该就能赶上。

如果中芯知道华芯的大E已经进到生产线,还有这么高的良品率,估计要崩溃的,他们可是实打实的花了50个亿,这价格在华芯还能再加3台,由此可见这次的保密级别有多高。

当然说不定中芯这颗烟雾弹也是上面刻意放出去的,拿钱买发展时间,不亏!

时间在众人闲聊中过去,华芯晶圆厂的首次流片的数据全部出来。

7纳米制程,良品率96%;

5纳米制程,良品率85%;

3纳米制程,良品率46%;

于永锋看着这个数据,高兴得合不拢嘴,96%的良品率比苏硅现在还高2个点,但是产能直接提升了3-5倍,这不能不让人心动啊。

“路总,您看,苏硅这边是不是得安排两台进厂,这自家的都拿不到说不过去。”

蔡伟青拉了下于永锋,后者才发现草率了,人家申城微电子的老板还在现场呢。

“走流程,在董事会提交吧!”

这么好的东西不给苏硅安排上那肯定不行,路阳对苏硅的感情可不是说笑的。

周怀义笑道,“虽然今天的事需要保密,但是庆功宴可不能少,晚餐就安排在食堂,路总也没去过吧,史总到晶圆厂后,食堂搞得那是真的好。”

都是自己人,食堂那边也有包间,待晶圆厂正式投产后,张老也即将退休。

温天洋现在是两边在跑,晶圆厂的事也逐步移交到了他的手上。

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