EUV光刻机，E为Extreme，代表着极紫外光，波长仅为13.5纳米，是目前地球上所知的光源中波长最短的光源。
从名字便可以知道，极紫外光的产生才是整个技术中最为核心的部分，镜头组的设计更至关重要了。
众所周知，镜片工艺，全球最强的就是蔡司、佳能、尼康，这里指的镜片并非是单反相机镜头那种规格，而是直径长达30厘米，打磨精度更高的镜片，光刻机镜头组便是由这些镜片组成。
一枚单反镜头最多可达15片，普通手机能用到3-7块片，而光刻机的镜头组高达30片，可以把它想象成放大10倍的单反镜头，其组装难度难以想象。
目前华国就长春光机所，京城国望光学实力最为领先，是否能生产出这种镜片还未知，但是组装工艺需要从头摸索这是肯定的。
研究小组成员施阅博士，便是来自国望光学，今年45岁，华国光学领域的顶级专家，在充分研究分析后给出的答案是3年内才能实现镜片生产，至于光源，以目前华国的技术，无法实现。
DUV光刻机，D为Deep，代表着深紫外光，波长193纳米。
极紫外光需要用深紫外光来击打从空中掉落的20微米液态金属锡，而且需要高频重复，每秒5万次，才能获得极紫外光，这尼玛比高射炮打蚊子还要难百倍。
搞定光源还只是第一步；
紫外光是极易被吸收的，通过击打金属锡产生的光束，还需通过特殊材质做成的镜片反射。
为什么需要反射呢，因为需要对光源进行采集诊断，判断光源是否合格，否则最后生产出来的晶圆损坏，那损失更是天价。（这又涉及到了光学检测了，暂时就不继续深入了，否则跑的人会更多，光刻机的检测比制造更为重要）
EUV光刻机中需要安装5-7块这样的镜片来完成反射，每次反射都会被镜片吸收大约20%的能量，最终获得的极紫外光仅有原来的2%左右能量。
这2%的能量显然是不够的，只能加大光源功率，这又带来两个问题，一是耗能，晶圆厂是耗电大户，核心原因便在这里。
第二个问题就是冷却问题，每次反射镜片都会吸收光能从而发热，光刻机需要降温，配备热效应仿真与实时校准功能，这便需要大量的水。
为了冷却光的高能反应，每秒钟还需要4000升的水，耗能大户可不仅仅是电。
一深入都是问题，只是每次多了解一些路阳就要被打击一次，连带着周怀义一起进入EMO模式，回申城的路上，两人都没过多交谈，各自思索起解决办法。
那些穿越自带十几台光刻机的爽文让路阳非常羡慕，但现实往往更加残酷；
芯片小组最终决定在申城松江工业园区建立华芯科技，从各地调配人才，快速把生产线建立起来，哪怕是套壳最快也需要3个月时间，这项任务被周怀义光荣认领。
回到申城，路阳终于接到了一则好消息，五菱的新能源车五菱mini下周上市，孙忠民亲自打电话邀请出席。
时隔半个多月，再次见到季一楠，脸上失去了以往的自信，皮肤也变得黯淡无光。
“一楠，这才多久没见，怎么变成这样了？”
两人互怼惯了，忽然这么贴心的关怀让季一楠有些发懵。
“还不是你跟老周两人都做甩手掌柜，我要不盯紧点，谁知道苏硅会变成什么样？现在效益上来，宗家那几个儿子又想过来作妖，怎么样？这次收获大吗？”
路阳不忍心打击她，安慰道：“这次是一大步，马上就要在松江那边落地光刻机生产线了，至于苏硅那边，你就别再管了，回头我会告诉宗仕刚，这特么是科技文，不是商战文，他媳妇儿子要是再出来，分分钟请他们进局子。”
季一楠先是一喜，接着又苦笑道：“那又是一大笔钱吧，没有上百亿，生产线建不起来的。”
果然是魔怔了，路阳心想，“这事交给老周去解决，你先养好身体，过几天跟我出席五菱那边的发布会，以后有新的任务交给你，华芯这边的账，有专业团队去做，你别再管了。”
“行吧，路阳，我感觉自己就是个拖后腿的，你跟老周忙成那样，我却连这点小事都做不好。”
“小事？上百亿的账务，要是没你，华芯发展不会这么快，这么多家公司快速整合，你是关键，如果不是接下来的事太过重要，我也不会让你去。”
季一楠一听，果然好转很多，“什么事情？”
路阳想起郎廷的安排，说道：“你带人去找大概10家左右的高校，成立半导体芯片研究课题，具体的名单与研究方向我回头发给你，这是工信部的安排，以华芯的名义跟高校展开合作，做好人才储备，以后你就改做猎头了，哈哈。”
“研发项目基金？”季一楠很聪明，一听便知道这其中的门道。
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