距离上次路阳离开长春光机所，已过去10天时间，这边大部分设备已都到位。
见到廖老时，明显感觉老人的精神萎靡了许多，看来这边进展缓慢。
“廖老，要注意休息，劳逸结合嘛！”
见到路阳回来，老人明显很高兴，“你小子还好意思说我，你不也一样！”
“我还年轻，身体扛得住。”说完路阳走近老人，低声继续说道：“EDA那边已补全。”
果然，廖老一听到这消息，感觉精神瞬间恢复了很多，脸上难得的泛起一丝笑容。
“这算是最近听过最好的消息了。”
“怎么，进度很慢吗？”
廖老轻叹，“是啊！白教程已经连续两天没睡了，前两天强行生产了一批镜片，差距太大了，柴文政跟丁冉两人也大受打击。”
“差距有多大？精密光滑度始终超不过2纳米，比23所的的1纳米都还差一个量级，三人已经找了两天原因。”
“设备都到齐了？”路阳问道，强行加工，太容易打击气势了。
“还有两款设备在海关，走特色通道明天应该能到。”
路阳对廖老说道。
“都去休息吧，养好精神明天再战！”
当路阳见到白教授与23所的两位老师时，险些认不出，几人面容憔悴，唇色发白，头发看起来像几天没打理过的样子，深陷的眼眶让人看起来格外担心。
路阳说道：“三位老师去休息吧，这里我来看着就行，等设备到了，我们再继续！”
三人像是没见到他般，继续讨论着，白学礼手中还拿着烟，“没道理啊，按理来说，离子抛光工艺也是按资料中设置的参数，就算设备是替代品，差距也不该如此大？”
来自23所的柴文政没有了刚到时那般意气风发，吸了口烟，“我已经计算过10几次，所里的这台粒子束装置可以说是华国最先进的，不可能有这么大的误差，一定是其他方面的原因。”
“也许并非装置问题，而是计算公式的问题，或者材料方面？”
同样来自23所的丁冉说道，她跟柴文政对所里的设备仍保持着极大的信心，这台离子束装置曾经完成过多次任务。
廖老这下是彻底看不下去了，不能未战先倒，“去休息吧，这是命令，醒来了我们再讨论！”
洪亮的声音响彻整个工作间，三人被拉回现实，“廖老，哦，还有小罗也回来了！”
柴文政第一个反应过来，说道。
丁冉本想说这对她们是常事，但抬头看到工作间中的其他人，除了刚回来的路阳，状态都非常糟糕。
“白教授，还是听廖老的吧，说不定睡醒了会有新的发现，在研究中这不是常有的事吗？”
待几人都回去休息，路阳独自在工作间发呆，表面上看，现在已经取得了不小的进展，但真正涉及顶尖技术的项目，还未正式展开。
EUV镜头以及镜片组的制造，主要是四个方面，
材料方面：EUV反射镜需要使用特殊的材料，例如钼、铥等元素的多层膜结构，这些材料需要具有很高的纯度和均匀性。钼跟铥华国都是产能大户，长春光机所不可能缺，核心材料氧化硅更不是问题。
设备方面：需要使用高精度的设备进行制造，例如电子束物理气相沉积设备、磁控溅射设备等，这些设备需要满足高真空环境、高温、高能量等特殊要求，跟蔡司那样的百年企业相比，这方面出问题的可能性最大。
工艺控制方面：制造需要精密的工艺控制，例如多层膜的厚度控制、表面平整度控制等，这些控制需要使用高端的工艺控制技术和仪器设备。
检测技术方面：EUV反射镜的质量检测需要使用高精度的检测设备和技术，例如原子力显微镜（AFM）、X射线反射分析仪（XRR）等，这些设备需要具有很高的分辨率和灵敏度。
“工艺控制技术应该是最大的问题，其次环境问题，最后才是检测方面，长春光机所的设备制造间并非超净间，理论上也不需要达到超净的级别，短期内无法改造。”路阳喃喃自语。
通常医院或者一些生物实验室的无尘环境，可以归为净室，超净间就是比这些普通净室干净万倍的空间，有一整套严格的控制标准，暂时不做更多赘述。
作为曾经的专业视频博主，路阳对专业相机镜头不陌生，他现在总算明白，为什么国内从来没有山寨机了，镜头制作实在太难，更何况是直径如此大的镜头组。
路阳翻看了下桌面的这些文件，大部分都看不懂，一堆数学公式更是让他头晕目眩，竟然在工作间睡了过去。
门外嘈杂的声音将他吵醒，一看窗外，已是晚上，一些工人往里搬运设备。
这应该就是采购的最后一批设备了，睡了几小时，路阳精神恢复了许多，来到室外，见白学礼正在指挥工人，嘴里大声喊道：“都小心些，轻拿轻放，这些东西可不能有任何损坏。”
回头又对助手说道：“组织人开箱检查设备，把说明书都翻译出来，明早进行安装调试。”
路阳来到白学礼身边，“白教授，您怎么又回来了？”
“没事，睡了3个小时，最后一批设备，不过来看看我不放心，对了，小路，听说申城的生产线计划是10条？”
“是的，DUV跟EUV原定都是5条，具体的看进度了。”
休息了一下午，白学礼终于恢复成路阳第一次见到的自信模样。
“哈哈，压力又来到我们这边了，不过我坚信我们一定能造出EUV的。”
“白教授，怎么没见小组的其他老师呢？”昨天回来路阳就发现这个问题了。
白学礼笑道：“我让他们带着问题回去搬救兵了，明天都会回来，加工车间没搞定，他们留下来也没用。”
说完又点了支烟，“是我这边着急了，23所的两位教授这两天信心被打击得可不小，不过我相信很快便能恢复了，毕竟来自那里！”
路阳好奇问道：“那里有什么神秘之处吗？”，旋即又想起那边是保密单位，下意识又补充道：“我只是有点好奇，如果涉及保密就不用跟我说了。”
“23所是钱老指定设置的研究机构！”
路阳呆立当场。
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