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第一百零七章 T/R模块搞定,又是锦鲤

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乔麦满脸感慨,这越发激起了李想的好奇心。

“所以到底先进到什么程度,能说说看吗?”

“呃......怎么跟你说呢,就比如空气轴承这块,我记得我们之前是完全没有能力制造高精度空气轴承的,主要是加工精度和材料强度都不过关,但是这次去的时候,最新信号的热等静压机已经开始在部分构件上使用空气轴承了,说明我们完成了这一部分的技术突破。”

“虽然相比起进口轴承来还不算好用,但起码实现了从0到1的突破。”

“这东西如果继续优化发展下去,在很多领域都能有很大的作用。”

“最近咱们西北机电所不是在搞单晶炉嘛,单晶炉是用来造硅材料、造芯片的,等原材料造出来的时候,要进行刻蚀就得用到光刻机、刻蚀机。”

“这两种设备就需要使用高精度的空气轴承。”

“以前我们想都不敢想,现在总算是有机会了。”

“原来如此!”

李想感慨地点了点头,这的确是一件值得庆祝的事情。

但一旁的陈念心里却没什么波动。

因为这事儿他早就知道了.......

空气轴承技术的突破,事实上就是二十二号项目的衍生技术,还给他带来了源点的收益。

不过,虽然不惊喜,但他也不会在这种时候去破坏气氛,只是静静地吃着饭,听乔麦和李想闲聊。

“所以如果真的要造光刻机,我们现在能造出来吗?”

李想继续问道。

“呃......这块我其实不太懂,但是光刻机里面有个结构确实在我们的研究范围里,就是对准系统。”

“啥叫对准系统?”

“简单来说,光刻的过程就是用光线雕刻的过程,那要保证准确,就必须保证你的‘刻刀’落在‘画板’正确的位置上,而保证这一点,就是对准系统要做的事情。”

“这个过程很复杂,涉及到的结构也很多,我们现在用的还是手动对准系统,跟国外大公司的技术差距很大,估计短时间内也没有突破的可能性......”

听到这里,陈念的眉头突然皱了起来。

他抬起头,开口问道:

“啥?我们现在的光刻机用的是手动对准系统?”

在他的印象里,国产光刻机虽然精度差、效率低,但基本的功能还是齐全的。

毕竟这玩意儿1974年就诞生了,后来经过1445所的不断优化升级,功能性还是完整的,怎么搞来搞去,还在用着手动对准吗?

这倒是涉及到他的知识盲区了。

听到他的问题,乔麦同样惊讶:

“啊?你不知道吗?也对,伱们应该不会太关注这块。”

“但现在我们的对准系统确实很差,之前1445所实验了很多种方法,也没有解决自动对准的问题----同样的,精度也不够。”

“1445所用的不是同轴+离轴双对准的方法?”

陈念大为惊讶,因为某种原因,这玩意儿在他的前一世铺天盖地地报道,连他这个门外汉都看过不少,搞的他还以为国内早就解决了对准系统的问题呢。

“不是啊,离轴对准的技术难度很高,设计原理也比较复杂,我们没有搞出来的......”

“这玩意儿复杂??”

“你说它制造难度大我还可以接受,但是原理复杂......不就是光衍射的原理吗?”

话刚说完,陈念的脑子里突然灵光一闪,想起了关于以前他看过的报道的更多细节。

对啊!

最早的离轴对准技术,是ASML公司1999年才发明、2001年才算正式运用的技术,而自己所说的同轴+离轴的技术,是07年出现的。

现在国内确实还没有机会接触到最新的光刻机,自然也没有能力去复刻这种技术。

所以,乔麦不知道、或者说国内没人知道,似乎是.....正常的?

但自己还真知道啊!

哪怕不借助系统也能知道!

因为它的原理,真就没有乔麦所预计的那么复杂。

想到这里,陈念没等乔麦回答便继续说道:

“离轴对准技术的原理其实并不复杂,说到底,它也就是利用固定波长的光线来进行衍射照射,然后标记出参考光栅后,再利用摩尔东文来校准,当硅片跟光栅对齐之后,对准就基本完成了。”

“在这个过程中最难的不是标记,而是维持系统的稳定,具体的操作方法......”

听着陈念娓娓道来,乔麦的神情渐渐变得严肃。

她眉头紧皱,默默在脑子里推演陈念所说的技术操作,但还没等她推演完,陈念却突然停了下来。

“咋啦?怎么不继续了?”

乔麦疑惑地问道。

“额,后面不知道了,我也是偶然从一本杂志上看到的.......”

“哦,这样.......”

“你的方法好像真的没什么问题,而且原理也没那么复杂.......就跟你说的一样,这种技术难的不是原理,而是怎么实现。”

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