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第391章 研究高精度光刻机

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目前只有腿部假肢,上肢的假肢还没有推出产品。

不过已经得到大量的反馈,阎解放汇报给李元,李元不得不面对。

他把这个任务交给女娲1号,让她依据现有下肢假肢推导出上肢假肢。

安排好一切,再次把精力放到了西楼。

过去停下的工作,他需要带着大家重新搞起来。

重点项目便是光刻机,这个将决定蛇口的三期工程。

同时也是向国家展示实验室实力的最有效、最快速的手段。

目前牵头之人是龚师兄,刘杨负责刻蚀机和材料,艾老师负责封测。

随着激光技术的成熟,光刻机的精度可以直接进入微米级,最低设计指标是1微米,最高期望指标是达到480纳米。

设计思路李元已经反复确认多次,接下来就需要他们解决实际的问题,并做出成品。

与老版最大的区别便是,EDA软件把设计图纸直接导入光刻机,然后由光刻机来制作掩膜板。

如此,才能形成设计闭环。

过去的掩膜板国内一直使用的合金铜,现在是在石英玻璃基板上进行图形转移。

由于石英玻璃的化学性能稳定、光学透过率高、热膨胀系数低,所以,后世很长时间一直采用。

制作过程和芯片过程类似,都是图档处理、光阻涂布、激光光刻、显影、蚀刻、脱膜、清洗、宏观检查、自动光学检查、精度测量、缺陷处理、贴光学膜等环节。

这些过去大家都较为熟悉,都是成熟的技术。

唯一的不同便是使用的涂料不同。

李元把所有的资料丢给了龚师兄,他再次回到东楼办公室,开始测试飞控系统。

再有一个月,便要几方联调,他需要为各种情景准备预案,避免到时手忙脚乱,耽误项目进度。

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