HXNB-888-1改进型的性能相比较初代,综合处理能力提升了30%,升级幅度不小,而制程要求也首次进入纳米级,来到
“极光2号UV光刻机,完成度70%”
进入纳米级意味着要将光刻机正式升级到紫外光(UV)级别了,在芯片图纸正式出来之前,光刻机必须到位。
好在现在极光1号基本能满足3微米HXNB-888初代的大规模量产,给极光2号留下了宝贵的时间和空间。
现在正在紧锣密鼓研发极光2号光刻机达到70%的进度,还是太慢,有些跟不上芯片开发的进度了。
造成这种局面的原因还是关键部件被卡脖子。
对准系统CCD部件目前李树倒是从日本采购到十台并开始进行实质性的技术攻关。
可全气动轴承和满足纳米级光刻需求的显微镜这两项关键部件在发达国家都尚属于尖端工业产品,连这些西方国家国内使用都有诸多限制,跟别提出口了。
全气动轴承目前只有欧洲少部分国家和日本能造,其中需要用到悬浮新材料,对工件的精度要求也极高,所以还是得从材料部门入手。
全气动轴承不像机械轴承那样有滚动体,有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差,同时也能用在ZXZH-666精密数控机床上,是一个要下大力气攻克的产品。
“ZXZH-666-2型四轴精密数控机床,完成度65%”
目前来看,ZXZH-666-2的开发进度反而是最慢的,让李树很不爽,ZXZH-666型精密数控机床的技术积累和人员水平是最好的,不过在机床精度大幅升级的前提下,伺服系统、测量系统、光栅等结构的精度又是一个不小的设计挑战。
同时主轴上的电路结构和设计,也是一个绕不开的坎。
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