是日，疲惫不堪的刘茂恩计划率军主力向沁、翼以北扩展，到达于阳城以南的地区，以期望得到粮食补给。
不料行至沁河附近，遭日军截击尾追，激战竟日，双方伤亡均重。
日军自5月11日起进行南北篦梳“扫荡”！
12日，东进日军在邵源与西进日军会合。
国军各部主力于13日开始突围，几经艰苦周折，至20日，第93、第19两军分别突围到达稷山、乡宁，第98军的两师到达沁水以北地区。
其余部队被冲散，有的遭日军阻击后折回济垣路以北地区。
奉命渡河南撤的国民党突围部队，沿途均遭到受到日军截击；加之缺乏渡河船只，损失惨重。
第14集团军总部及第15军军部就是靠仅有的两只小船（每只仅能容7人，往返需1小时）往返数十小时，至26日才脱险南渡。
在整个战役过程中，八路军摒弃了国民党反动派的打压和破坏，本着民族大义的信念，主动参与到对友军的作战策应和配合。
八路军总部命令所属各部向同蒲、白晋、正太、平汉、平绥各线出击。
5月7日，八路军就在冀南与当地民众一道开始了大规模的破袭战。9日，在白晋线、沁源南北，破坏铁路1.5公里。
15日至16日，在同蒲线破坏铁路5公里，在正太线攻占了5个日军火车站，在平汉平绥线上也有破击日军交通设施的行动。
22日以后，还在太原铁路沿线展开了游击战，在临汾等地灵活出击，端掉据点。
凡此都给日军造成了很大的不安和恐慌，对牵制日伪力量，掩护国民党军队转移撤退，起到了明显的作用。
其中撤往后方的一些零散部队，得到了八路军的接待，当中不乏一幕幕热忱关怀，情同手足，感人至深的场面，体现了抗日御侮、共赴国难的民族精神。
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